- Atomic Force Microscope (원자현미경)
: 미세 탐침을 시료 표면 가까이 가져갈 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 측정해 수 나노미터 수준의 시료 표면의
형상을 알아내는 장치로 형상뿐만 아니라 시료의 전자기적, 물리적 특성도 알아낼 수 있다. 성능을 향상 시키기
위한 제어기법, 기구부 설계, 신호처리 기법 등의 연구를 진행한다.
- Confocal Microscope (공초점 현미경)
: 핀홀을 이용하여 초점 거리만큼 대물렌즈로부터 떨어져 있는 샘플의 표면에서 반사되는 빛만을 검출기에
입사시켜 단면의 영상을 얻어내는 장치로서, 스테이지를 이동시키면서 측정한 2D 데이터를 바탕으로 3D 형상을
구현할 수 있다.
